设备名称：四腔体约瑟夫森结制备专用机 JEB-4（Josephson Junction Electron Beam Evaporator ）

 

制造商：Adnano-tek

 

约瑟夫森铝结/电子束蒸镀设备：铠柏科技制造的超导结制备用电子束蒸镀设备专精于金属及氧化物薄膜的制备，可用于超导量子实验室制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。公司设备在合肥中科大已取得客户满意高品质薄膜。

四腔系统与三腔体相比多了一个腔体，这个腔体可以用来做样品前制备，或者是多样品储存，也可以拿这个腔体来做另外的功能，例如，磁控溅射或者是离子溅射。

 

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